高精密量測: XY:0.05um Z:0.4um 自動倍率&漸進式定位系統，低倍率到高倍率一次到位 旋轉式主軸，提供各種角度的精準量測 支援多層Stack Die and multiple Die 多種特殊燈源取像，符合多樣化產品材質
高精密量測: XY:0.05um Z:0.4um 自動倍率&漸進式定位系統，低倍率到高倍率一次到位 支援多層Stack Die and multiple Die 可追加線圖比對檢測功能 客製化量測項目與流程
搭載雙高速檢測相機，可支援不同需求的檢測項目 軌道寬度自動調整，支援多種產品寬度 人工智能學習更貼近產品實際狀況，提升檢測穩定度 抽檢或全檢，多種檢測流程可共選擇，更符合產線需求 客製化檢測項目